[文章導(dǎo)讀] （微納米力學(xué)系統(tǒng)）同時隨著材料設(shè)計的微量化、微電子行業(yè)集成電路結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化，傳統(tǒng)材料力學(xué)性能測試方法已難以滿足微米級及更小尺度樣品的測試精度，不能夠準確評估薄膜材料的強度指標和壽命；

近年來，隨著工業(yè)的現(xiàn)代化、規(guī)?；a(chǎn)業(yè)化，以及高新技術(shù)和國防技術(shù)的發(fā)展，對各種材料表面性能的要求越來越高。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）（點擊了解詳情）20世紀80年代，現(xiàn)代表面技術(shù)被國際科技界譽為最具發(fā)展前途的十大技術(shù)之一。薄膜、涂層和表面處理材料的極薄表層的物理、化學(xué)、力學(xué)性能和材料內(nèi)部的性能常有很大差異，這些差異在摩擦磨損、物理、化學(xué)、機械行為中起著主導(dǎo)作用，如計算機磁盤、光盤等，要求表層不但有優(yōu)良的電、磁、光性能，（微納米力學(xué)系統(tǒng)）而且要求有良好的潤滑性、摩擦小、耐磨損、抗化學(xué)腐蝕、組織穩(wěn)定和優(yōu)良的力學(xué)性能。因此，世界各國都非常重視材料的納米級表層的物理、化學(xué)、機械性能及其檢測方法的研究。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）同時隨著材料設(shè)計的微量化、微電子行業(yè)集成電路結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化，傳統(tǒng)材料力學(xué)性能測試方法已難以滿足微米級及更小尺度樣品的測試精度，不能夠準確評估薄膜材料的強度指標和壽命；另外在材料微結(jié)構(gòu)研究領(lǐng)域中，材料研究尺度逐漸縮小，材料的變形機制表現(xiàn)出與傳統(tǒng)塊狀材料相反的規(guī)律，（微納米力學(xué)系統(tǒng)）以上趨勢要求測試儀器具有高的位置分辨率、位移分辨率和載荷分辨率，納米壓痕方法能夠滿足上述測試需求。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）

現(xiàn)在，薄膜的厚度已經(jīng)做到了微米級，甚至于納米級，對于這樣的薄膜，用傳統(tǒng)的材料力學(xué)性能測試方法已經(jīng)無法解決。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）納米壓痕試驗方法是一種在傳統(tǒng)的布氏和維氏硬度實驗基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新的力學(xué)性能試驗方法。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）它通過連續(xù)控制和記錄樣品上壓頭加載和卸載時的載荷和位移數(shù)據(jù)。并對這些數(shù)據(jù)進行分析而得出材料的許多力學(xué)性能指標，壓痕深度可以非常淺，壓痕深度在納米范圍，（微納米力學(xué)系統(tǒng)）也可以得到材料的力學(xué)性能，這樣該方法就成為薄膜、涂層和表面處理材料力學(xué)性能測試的首選工具，如薄膜、涂層和表面處理材料表面力學(xué)性能測試等。（微納米力學(xué)系統(tǒng)）

納米粒子的表面原子所處的晶體場環(huán)境及結(jié)合能與內(nèi)部原子有所不同，（微納米力學(xué)系統(tǒng)）存在許多懸空鍵，具有不飽和性質(zhì)，因而極易與其他原子相結(jié)合而趨于穩(wěn)定，具有很高的化學(xué)活性。

當(dāng)顆粒細化時，粒子逐漸減小時，總表面積急劇增大，比表面積相應(yīng)的也急劇加大。由于表面原子數(shù)增多，原子配位不足及高的表面能，（微納米力學(xué)系統(tǒng)）使這些表面原子具有高的活性，極不穩(wěn)定，很容易與其他原子結(jié)合，而表現(xiàn)出很高的化學(xué)活性。

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