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[文章導(dǎo)讀] 大氣等離子清洗機(jī)按所加電場(chǎng)的頻率不同,氣體放電可以分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類(lèi)型。
大氣等離子清洗機(jī)(點(diǎn)擊了解詳情)通常把在電場(chǎng)作用下氣體被擊穿而導(dǎo)電的物理現(xiàn)象稱(chēng)之為氣體放電。如此產(chǎn)生的電離氣體叫做氣體放電等離子體。
大氣等離子清洗機(jī)按所加電場(chǎng)的頻率不同,氣體放電可以分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類(lèi)型。直流(DC)放電因其簡(jiǎn)單易行,特別是對(duì)于工業(yè)大氣等離子清洗機(jī)裝置來(lái)說(shuō)可以施加很大的功率至今仍被采用。低頻放電的范圍一般是1~100kHz,現(xiàn)在裝置最常用的頻率為40kHz。
目前,在實(shí)驗(yàn)裝置和工藝設(shè)備中用得最多的莫過(guò)于高頻放電裝置,其頻率范圍為10~100MHz。由于這屬于無(wú)線(xiàn)電波頻譜范圍,故又稱(chēng)為射頻放電(Radio frequency discharge),簡(jiǎn)稱(chēng)RF放電,最常用的頻率為13.56MHz。當(dāng)所用電場(chǎng)的頻率超過(guò)1GHz時(shí),屬于微波放電(Microwave discharge),簡(jiǎn)稱(chēng)為MW放電。常用的微波放電頻率為2450MHz。
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