[文章導(dǎo)讀] 通常情況下，MEMS包含一個(gè)力學(xué)結(jié)構(gòu)。對(duì)于大部分的MEMS裝置，這些結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能對(duì)于系統(tǒng)高效的工作是非常重要的，力學(xué)參數(shù)包括剛度、線性度、附著力、滯后、撓度、驅(qū)動(dòng)力、抗彎強(qiáng)度、蠕變和形貌。通過(guò)定量測(cè)定，可以有效減少M(fèi)EMS開(kāi)發(fā)的時(shí)間和成本，例如有問(wèn)題的設(shè)備可以在早期以及生產(chǎn)過(guò)程的質(zhì)量檢查中識(shí)別出來(lái)。

通常情況下，MEMS包含一個(gè)力學(xué)結(jié)構(gòu)。對(duì)于大部分的MEMS裝置，這些結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能對(duì)于系統(tǒng)高效的工作是非常重要的，力學(xué)參數(shù)包括剛度、線性度、附著力、滯后、撓度、驅(qū)動(dòng)力、抗彎強(qiáng)度、蠕變和形貌。通過(guò)微納力學(xué)測(cè)試與組裝系統(tǒng)定量測(cè)定，可以有效減少MEMS開(kāi)發(fā)的時(shí)間和成本，例如有問(wèn)題的設(shè)備可以在早期以及生產(chǎn)過(guò)程的質(zhì)量檢查中識(shí)別出來(lái)。

FT-MTA系列測(cè)量一系列MEMS褶曲的in-pane剛度和out-of-plane剛度，為測(cè)量目標(biāo)的剛度設(shè)定一個(gè)上限和下限，可建立正常工作的褶曲（綠色）與超出預(yù)期規(guī)格褶曲（紅色）的芯片布局圖，由此識(shí)別出晶片（高剛度）或者有裂縫的褶曲（低剛度），通過(guò)紅綠比可表明生成率。

納米懸臂的彈性以及頂端的附著力也可以通過(guò)微納力學(xué)測(cè)試與組裝系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量，附著力相當(dāng)于納米懸臂在卸載過(guò)程中的反向“拉力”。

聚合物材料（e.g.PMMA、PDMS、SU-8）通常用于MEMS的傳感器和制動(dòng)器。但是，MEMS使用聚合物在實(shí)現(xiàn)力學(xué)目的同時(shí)也會(huì)引起新的問(wèn)題和挑戰(zhàn)。可以為PMMA懸臂加載來(lái)測(cè)量器件的性能，例如翹曲力、彈性/塑性變形和滯后。

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