[文章導(dǎo)讀] 等離子體表面處理就成為研究的客體（物質(zhì)），那時研究等離子體的興趣主要與發(fā)展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩(wěn)壓二極管）相關(guān)的

氣體放電和等離子體物理的主要研究是十九世紀(jì)和二十世紀(jì)之交開始的。在這個時期朗繆爾和他的同事對氣體的放電理論和等離子體做出了重要的貢獻(xiàn)，正是他給出了等離子體表面處理（點擊了解詳情）的概念、等離子體的定義，給了等離子體的名稱“plasma”，指出了實驗和理論上研究等離子體的方法，首先使用探針對等離子體參數(shù)進(jìn)行了診斷。

到了本世紀(jì)的三十年代，等離子體表面處理就成為研究的客體（物質(zhì)），那時研究等離子體的興趣主要與發(fā)展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩(wěn)壓二極管）相關(guān)的。五十年代是等離子體表面處理物理發(fā)展取得成果最豐碩的年代，那時研究等離子體的主要興趣是與核聚變研究相關(guān)的，至今雖然還沒有研制成工業(yè)應(yīng)用的熱核反應(yīng)堆，但等離子體表面處理研究卻取得了長足的進(jìn)步，特別是在研究等離子體表面處理的振蕩與不穩(wěn)定性方面。

本篇關(guān)于等離子體表面處理的文章出自北京歐倍爾，轉(zhuǎn)載請注明出處。