[文章導(dǎo)讀] 等離子清洗設(shè)備在對(duì)金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用研究開(kāi)始蓬勃發(fā)展，形成向多學(xué)科交叉的研究方向。

等離子清洗設(shè)備（點(diǎn)擊了解詳情）中低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)，所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體。

等離子清洗設(shè)備的低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強(qiáng)，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應(yīng)，因此等離子清洗設(shè)備被用來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行改性處理。與傳統(tǒng)的方法相比，等離子清洗設(shè)備表面處理具有成本低、無(wú)廢棄物、無(wú)污染等顯著的優(yōu)點(diǎn)，等離子清洗設(shè)備同時(shí)可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法難以達(dá)到的處理效果。二十世紀(jì)七八十年代起，等離子清洗設(shè)備在對(duì)金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用研究開(kāi)始蓬勃發(fā)展，形成向多學(xué)科交叉的研究方向。

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