[文章導(dǎo)讀] 為什么說(shuō)晶體尺寸越大越好呢。使用大面積探測(cè)器意味著提高圖像的質(zhì)量和分析的準(zhǔn)確性，無(wú)需為X射線能譜儀分析而改變束流。

探測(cè)器的能量分辨率和低能探測(cè)性能不隨探測(cè)晶體尺寸的變化而變化，這是因?yàn)橥庵?/span>FET設(shè)計(jì)。如果探測(cè)器的位置不變，計(jì)數(shù)率的增加與探測(cè)器的面積成正比。所有尺寸的探測(cè)器晶體都具有相同優(yōu)秀的分辨率。 

（圖為牛津X-Maxⁿ能譜儀不同晶體所測(cè)結(jié)果）

為什么說(shuō)晶體尺寸越大越好呢。使用大面積探測(cè)器意味著提高圖像的質(zhì)量和分析的準(zhǔn)確性，無(wú)需為X射線能譜儀（點(diǎn) 擊了解詳情）分析而改變束流。相同束流下更高的計(jì)數(shù)率，更短的采集時(shí)間，更好的統(tǒng)計(jì)性。小的束斑下的可靠分析，更高的空間分辨率，高分辨SEM最佳的分析結(jié)果。

能譜儀超大面積探測(cè)器是SOD設(shè)計(jì)的突破，增大的探測(cè)面積捕捉較低的計(jì)數(shù)。

（圖為牛津X-Maxⁿ能譜儀探測(cè)器）

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