[文章導讀] 目前納米壓痕技術(shù)在微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的應用不僅可以利用原子力顯微鏡(AFM)和納米硬度計直接測量微小構(gòu)件的彈性模量和硬度,還可以測量固支梁或懸臂梁在載荷下的彎曲變形,如微桿件、微泵和微開關(guān)的膜片等。

     1975年，美國物理學家、諾貝爾物理學獎金獲得者費恩曼在其著名的演講報告“There’s Plenty of Room at the Bottom”中首次提出了微機械的概念。隨著微電子技術(shù)和微系統(tǒng)的發(fā)展，許多微小結(jié)構(gòu)得到了實際應用。同時，材料在微小尺度下的力學性能也逐漸成為人們關(guān)注的對象，材料的微觀力學性能研究也隨之開展起來。在微電子技術(shù)、微機械和納米摩檫學應用中，微構(gòu)件的幾何尺寸一般在微米級，而薄膜的厚度則往往是納米級。在載荷的作用下，這些微小構(gòu)件常常會表現(xiàn)出與宏觀條件下所不同的特性，因而引起了人們的極大關(guān)注，目前這一領(lǐng)域已成為科學前沿和研究熱點，納米壓痕技術(shù)由于具有無損、納米壓痕（點擊了解詳情）可以在很小的局部范圍測試材料的力學性能等優(yōu)點，納米壓痕近十年來在材料的微觀力學性能研究方面得到了廣泛的應用。

（納米壓痕儀）

     目前微構(gòu)件的幾何尺寸大多以微米計,一些構(gòu)件上的涂層或薄膜的厚度甚至以納米計。這些微構(gòu)件的力學性能,如彈性模量和微硬度,用以往常規(guī)的硬度測試手段是無法實現(xiàn)的。此外,體材料的力學行為對微納米尺度上的構(gòu)件已不再適用,即存在通常所說的尺度效應。目前納米壓痕技術(shù)在微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的應用不僅可以利用原子力顯微鏡(AFM)和納米硬度計直接測量微小構(gòu)件的彈性模量和硬度,納米壓痕還可以測量固支梁或懸臂梁在載荷下的彎曲變形,如微桿件、微泵和微開關(guān)的膜片等。

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