[文章導(dǎo)讀] 等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用 等離子，即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。

等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用 等離子，即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。

等離子表面處理作用在物體表面可以實現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆，因而就出現(xiàn)了等離子表面處理刻蝕機，等離子表面處理清洗機等等設(shè)備。根據(jù)等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實現(xiàn)對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現(xiàn)了對物體處理的多樣化。

等離子表面處理

因低溫等離子體對物體等離子表面處理的強度小于高溫等離子體，能夠?qū)崿F(xiàn)對處理物體表面的保護作用，應(yīng)用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現(xiàn)出來的作用也個不相同的，原子團（自由基）主要是實現(xiàn)對物體表面化學(xué)反應(yīng)過程中能量傳遞的“活化”作用；電子對物體表面作用主要包括兩方面：一方面是對物體表面的撞擊作用，另一方面是通過大量的電子撞擊引起化學(xué)反應(yīng)；離子通過濺射現(xiàn)象實現(xiàn)對物體表面的處理；紫外線通過光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強穿透能力。

等離子表面處理能夠在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)和牙科醫(yī)療等領(lǐng)域得到應(yīng)用。

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