[文章導(dǎo)讀] 能譜儀（1）能快速、同時對H和He以外的所有元素進(jìn)行元素定性、定量分析，幾分鐘內(nèi)就可完成；可以直接測定來自樣品單個能級光電發(fā)射電子的能量分布，且直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。

能譜儀(點(diǎn)擊了解詳情)功能簡介:（1）能快速、同時對H和He以外的所有元素進(jìn)行元素定性、定量分析，幾分鐘內(nèi)就可完成；可以直接測定來自樣品單個能級光電發(fā)射電子的能量分布，且直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。

（2）能譜儀對試樣與探測器的幾何位置要求低：對W.D的要求不是很嚴(yán)格；可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結(jié)果。

（3）能譜儀能譜所需探針電流小，是一種無損分析：對電子束照射后易損傷的試樣，例如生物試樣、快離子試樣、玻璃等損傷小。

（4）能譜儀是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)。分析所需試樣約8-10g即可，絕對靈敏度高達(dá)10-18g，樣品分析深度約2nm。

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