[文章導(dǎo)讀] 微電子技術(shù)和微系統(tǒng)的發(fā)展，許多微小結(jié)構(gòu)得到了實際應(yīng)用。同時，材料在微小尺度下的力學(xué)性能也逐漸成為人們關(guān)注的對象，材料的微觀力學(xué)性能研究也隨之開展起來。在微電子技術(shù)、微機械和納米摩檫學(xué)應(yīng)用中，

微電子技術(shù)和微系統(tǒng)的發(fā)展，許多微小結(jié)構(gòu)得到了實際應(yīng)用。同時，材料在微小尺度下的力學(xué)性能也逐漸成為人們關(guān)注的對象，材料的微觀力學(xué)性能研究也隨之開展起來。在微電子技術(shù)、微機械和納米摩檫學(xué)應(yīng)用中，微構(gòu)件的幾何尺寸一般在微米級，而薄膜的厚度則往往是納米級。在載荷的作用下，這些微小構(gòu)件常常會表現(xiàn)出與宏觀條件下所不同的特性，因而引起了人們的極大關(guān)注，目前這一領(lǐng)域已成為科學(xué)前沿和研究熱點，納米壓痕儀技術(shù)由于具有無損、可以在很小的局部范圍測試材料的力學(xué)性能等優(yōu)點，近十年來納米壓痕儀在材料的微觀力學(xué)性能研究方面得到了廣泛的應(yīng)用。

     目前微構(gòu)件的幾何尺寸大多以微米計,一些構(gòu)件上的涂層或薄膜的厚度甚至以納米計。這些微構(gòu)件的力學(xué)性能,如彈性模量和微硬度,用以往常規(guī)的硬度測試手段是無法實現(xiàn)的。此外,體材料的力學(xué)行為對微納米尺度上的構(gòu)件已不再適用,即存在通常所說的尺度效應(yīng)。目前納米壓痕儀技術(shù)在微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的應(yīng)用不僅可以利用原子力顯微鏡(AFM)和納米硬度計直接測量微小構(gòu)件的彈性模量和硬度,納米壓痕儀還可以測量固支梁或懸臂梁在載荷下的彎曲變形,如微桿件、微泵和微開關(guān)的膜片等。

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